路透引述知情人士報導,中國大陸正要求晶片製造商在增加新產能時,至少要使用50%的國產設備,以推動打造自給自足半導體供應鏈的目標。
消息人士透露,這項規定沒有書面公告,但最近幾個月,尋求國家批准新建或擴建工廠的晶片製造商,已被當局告知,必須通過採購招標,證明至少有一半的設備是中國製造。
在美國出口限制措施阻擋一些最先進設備銷往中國之際,即便在某些領域仍可使用美、日、韓和歐洲的設備,但50%要用國產設備的規定,促使中國製造商選擇國內供應商。
消息人士說,若未達門檻通常就會駁回申請,但有關當局會視供應限制情形,酌情放寬要求,對高階製程晶片產線的規定也有鬆綁,因為國內業者開發的設備尚未完全投入這類產線。
根據公開的採購數據顯示,今年國營事業或相關實體訂購國產曝光機及零件的訂單,達到創紀錄的421筆,總額約人民幣8.5億元。為了支持本土的晶片供應鏈,北京當局也透過「大基金」為半導體產業挹注人民幣數千億元,
消息人士指出,這項政策已有所斬獲,例如在蝕刻等領域。蝕刻是把矽晶圓表面多餘的材料溶解或剝離,形成電路圖案的過程,是晶片製造的關鍵步驟,
兩名消息人士透露,中國最大的晶片設備集團北方華創正在中芯國際(SMIC)7奈米產線上測試其蝕刻設備。北方華創先前已成功在14奈米製程部署其蝕刻設備。
一名消息人士說:「當局要求晶圓廠用至少50%的國產設備,加速北方華創蝕刻技術的進展」,此舉迫使該公司迅速進步。
消息人士表示,在中國,先進的蝕刻設備先前主要是由科林研發、東京威力科創等外國廠商供應,如今部分被北方華創和中微(AMEC)取代。
消息人士透露,北方華創也已成為中國記憶體製造商的重要合作夥伴,會提供用於製造超過300層記憶體的蝕刻設備。該公司還開發了固定晶圓的靜電吸盤,以取代科林研發因2023年美方限制措施而無法繼續維修的磨損零件。
分析師估計,在光阻去除和清洗設備領域,中國目前約有一半都能自給自足。雖然這個市場以前是由日本公司主導,但如今在中國卻是由北方華創取得領導地位。

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