台積電在日本熊本的首座工廠自一年前全面投產以來帶動了當地經濟，但部分居民對於晶圓廠對地下水的影響，依然感到不安，擔心地下水可能遭受污染或是枯竭。（延伸閱讀：日媒：AI 熱潮助長尖端晶片需求 台積電熊本廠擬生產4奈米晶片）
日本英文媒體日本時報報導，台積電熊本一廠使用了目前目前未納入監管的全氟烷基化合物（PFAS），雖然工廠廢水經過活性碳處理，但要完全去除這些被稱為「永久化學品」的物質依然困難。
今年11月，台積電熊本一廠曾舉行媒體簡報會，希望促進大眾對工廠致力永續製造的了解。
台積電熊本一廠指出，工廠每天使用3萬公噸用水中，約有75%是回收再利用水。此外，每天的5,500公噸廢水排放，水質均受到24小時監控，且標準比現行法律規範更為嚴格。一旦偵測到異常，系統會自動停止運行並對再廢水進行重新處理。
台積熊本廠說，透過各種努力，例如在冬季對稻田注水以利水分滲透至深層地下等方式，工廠在2024年回填了約 500萬公噸的地下水，相當於晶片生產耗水量的三倍。
然而，部分當地居民仍然擔心地下水污染或是枯竭的風險。
熊本廠所在地菊陽町，當地居民去年2月成立公民團體，70歲的負責人Koichi Ideta說，他們擔心含有PFAS的廢水流入有明海之後，對食用有明海魚類、貝類的民眾，會有影響。另有當地老農希望熊本縣政府和台積電熊本廠，向他們誠懇說明地下水的前景。
熊本縣政府自2023年8月開始，已持續在台積電廢水處理設施的排放口及相關河流進行水質檢測。縣府說，雖然曾出現過PFAS濃度的暫時上升，但仍遠低於美國和德國設定的飲用水標準。此後濃度已經下降，目前維持穩定。
熊本縣知事木村敬則是強調：「本縣豐富的地下水是重要的資產。我們將致力於維護地下水的數量與品質，緩解當地居民的憂慮。」
台積電熊本廠的人員也承諾：「我們將努力與當局及供應商合作，減少對人體健康與環境的影響。」 $(document).ready(function () {nstockStoryStockInfo();});